5 Gaten 127x127x3mm Kwartsglasplaat voor 5 Inch Halfgeleider Wafer Apparatuur Kalibratie

5 holes kwartsglasplaat 127x127x3mm voor 5-inch wafer kalibratie

Deze 5 holes quartz glas kalibratie plaat is een hoge precisie halfgeleider apparatuur kalibratie hulpmiddel. met afmetingen van 127x127x3mm en vijf nauwkeurig bewerkte positionering gaten,het voldoet aan de standaard 5-inch wafer specificaties voor dagelijkse apparatuur verificatie en kalibratie over prober, AOI, die bonder en optische metrologie toepassingen.

Productparameters

Belangrijkste kenmerken

• 5 Precieze positioneringsgaten- Vijf lokaliseringsgaten met een strakke tolerantie voor de kalibratie van de coördinaten van de apparatuur, ter vervanging van de dagelijkse verificatie van de siliciumwafers.
• Ultra-hoge vlakheid¢ Dubbelzijdig gepolijst oppervlak met minimale thermische vervorming voor een consistente kalibratie nauwkeurigheid.
• Chemische reinigingsresistentie¢ Resistent tegen standaard halfgeleiderreinigingsoplosmiddelen en behoudt dimensionale stabiliteit na herhaalde reinigingscycli.
• Optische uniformiteit¢ Quartsglas met lage spanningen zorgt voor een uniforme optische transmissie voor AOI- en visuele inspectiesystemen.
• Langetermijnstabiliteit- Stabiele nauwkeurigheid bij herhaald gebruik op lange termijn, ontworpen als een speciale kalibratie standaard voor de halfgeleiderindustrie.

Toepassingen

1. Inspectie van halfgeleiderwafels

Vijf locatie gaten maken dagelijkse apparatuur coördinaten kalibratie mogelijk, ter vervanging van standaard silicium wafer checkpoint routines.AOI-optische inspectie-referentieplaat voor kalibratie van de scherpstelling van de lens en de nauwkeurigheid van de herkenning.

2Verpakking en proefproces

Verwijzingsplaat van het proefstation voor de controle van de proefpositie en de controle van de vlakheid van het platform via de vijf-gat lay-out.correctie van de afwijking van de positie van de mechanische armaturen.

3Laboratorium voor optische metrologie.

Standaard kalibratieplaat voor visuele meetmachines en contourmeters, gebruikt voor de controle van de nauwkeurigheid van reguliere apparatuur.

4Automatische kalibratie van de productielijn

Standaard voor het kalibreren van gereedschappen voor semi-geleidergeautomatiseerde apparatuur, ontworpen voor herhaalde reiniging zonder vervorming in productieomgevingen.

Voordelen ten opzichte van gewoon glas

In tegenstelling tot gewone glazen platen heeft deze kwartsglaskalibratieplaat een dubbelzijdige precisiepoetsing met een extreem lage oppervlaktevervorming.De vijf-gat coaxialiteit en boring diameter worden strikt gecontroleerd binnen strikte tolerantiesHet is bestand tegen standaard schoonmaakmiddelen voor halfgeleiders en biedt een stabiele precisie bij langdurig herhaald gebruik, waardoor het het standaard kalibratieonderdeel is voor halfgeleiders.